Die InPower Dry-Vakuumpumpe wird in der Halbleiterindustrie verwendet, um eine saubere und trockene Vakuumumgebung zu schaffen. Sie findet aufgrund ihrer Sauberkeit, Zuverlässigkeit und Effizienz in der Halbleiterindustrie breite Anwendung. Diese Pumpen sind für Prozesse wie chemische Gasphasenabscheidung, physikalische Gasphasenabscheidung, Ionenimplantation und Ätzen unverzichtbar.

Merkmale:

Trockene Drehschieber-Vakuumpumpen sind ein Vakuumpumpentyp, der die Vorteile der Trockenschraubentechnologie mit Wasserkühlung kombiniert, um Leistung und Effizienz zu verbessern. Sie bieten eine zuverlässige, effiziente und wartungsarme Lösung für anspruchsvolle Vakuumanwendungen, die sowohl Trockenbetrieb als auch effektive Wärmeableitung erfordern.

Modell: LGB30/50/70/110/150/180/200/220/270/300/360/400/500

Endvakuum: Weniger als oder gleich 1Pa

GESCHWINDIGKEIT 50 Hz:30-500 L/s

GESCHWINDIGKEIT 60 Hz:36 - 600 L/s

Modell			LGB30	LGB50	LGB70	LGB110	LGB150	LGB180	LGB200	LGB220	LGB270	LGB300	LGB360	LGB400	LGB500
GESCHWINDIGKEIT (50 Hz)		L/s	30	50	83	110	150	180	200	230	270	300	360	360	500
GESCHWINDIGKEIT (50 Hz)		m³/h	110	180	300	400	540	650	720	830	970	1080	1300	1500	1800
Endvakuum (50 Hz)		Pa	5	5	5	5	5	5	5	5	5	5	5	5	5
Maximaler Abgasdruck		Bar	1.2	1.2	1.2	1.2	1.2	1.2	1.5	1.2	1.2	1.2	1.2	1.2	1.2
LEISTUNG (50 Hz)		Kw	4	4	5.5/7.5	11	15	15	18.5	18.5	22	30	37	37	37
Motordrehzahl (50 Hz)		U/min	2880	2880	2880	2880	2880	2880	2880	2880	2880	2880	2880	2880	2880
Verbinden	IN	mm	50	50	65	65	100	100	150	150	150	150	150	150	150
Verbinden	AUS	mm	40	40	65	65	80	80	100	100	100	100	100	100	100
Wasser	Fließen	L/min	6	6	10	15	20	20	25	25	28	28	28	28	28
	Druck	MPa	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35
	Verbinden		G3/8"	G1/2"	G1/2"	G1/2"	G1/2"	G1/2"	G1/2"	G1/2"	G1/2"	G1/2"	G1/2"	G1/2"	G1/2"
Kühlungsmethode		Luft Wasser	Luft Wasser	Wasser	Wasser	Wasser	Wasser	Wasser	Wasser	Wasser	Wasser	Wasser	Wasser	Wasser	Wasser
Lärm		dB	75	75	75	76	76	78	78	78	80	80	85	85	85
Gewicht		Kg	310	310	475	570	840	840	1200	1220	1250	1300	1350	1380	1400
Besondere Anforderungen		Je nach Bedarf kann es mit variabler Frequenz, Korrosionsschutz, Explosionsschutz usw. konfiguriert werden

inPower Trockenschieber-Vakuumpumpe Anwendungsbereich:

Halbleiterfertigung:

Bei Halbleiterherstellungsprozessen wie CVD, PVD, Ionenimplantation und Ätzen helfen wassergekühlte trockene Schraubenvakuumpumpen dabei, das erforderliche Vakuumniveau aufrechtzuerhalten und bieten gleichzeitig eine effiziente Wärmeableitung, um eine konstante Leistung sicherzustellen.

Dünnschichtabscheidung:

Wassergekühlte trockene Schraubenpumpen werden bei Dünnschichtabscheidungsverfahren wie Sputtern und Aufdampfen eingesetzt, bei denen eine präzise Vakuumregelung und Wärmeverwaltung für die Abscheidung gleichmäßiger dünner Schichten auf Substraten unabdingbar sind.

Wärmebehandlungsverfahren:

In Wärmebehandlungsprozessen tätige Branchen wie die Metallurgie sowie die Luft- und Raumfahrt sind auf wassergekühlte trockene Schraubenvakuumpumpen angewiesen, um Vakuumumgebungen zum Glühen, Löten und für andere Hochtemperaturbehandlungen zu schaffen und dabei das System kühl zu halten.

Chemische und pharmazeutische Verarbeitung:

Wassergekühlte trockene Schraubenpumpen spielen eine entscheidende Rolle bei chemischen Verarbeitungsanwendungen, bei denen die Aufrechterhaltung eines sauberen, trockenen Vakuums für Reaktionen, Destillationen und Lösungsmittelrückgewinnungsprozesse erforderlich ist.

Forschung und Entwicklung:

Labore und Forschungseinrichtungen verschiedenster Branchen verwenden wassergekühlte trockene Schraubenvakuumpumpen für Tests und Experimente und sorgen so für zuverlässige Vakuumbedingungen zum Studium von Materialien, Prozessen und Geräten.

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