Die ölfreie Schraubenvakuumpumpe von InPower vergrößert durch die Drehung des Antriebs- und Abtriebsrotors den abgedichteten Saugbereich, um Gas anzusaugen. Nachdem das gepumpte Gas in die Pumpenkammer gelangt ist, bewegt sich der abgedichtete Bereich zusammen mit der Drehung des Antriebs- und Abtriebsrotors vom Saugende zum Auslassende. Der Druck steigt stetig an und es gibt kein Zwischenabgasphänomen. Wenn der abgedichtete Raum mit dem Auslassanschluss verbunden ist, wird das Gas im Auslasskanal in die Pumpenkammer zurückgedrängt, wodurch der Gasdruck und die Temperatur in der Pumpenkammer ansteigen und ein Luftstromgeräusch entsteht. Wenn die Pumpe weiterläuft, wird das Volumen des abgedichteten Raums immer kleiner und das Gas in der Pumpenkammer wird kontinuierlich abgelassen. Die Pumpenkammer verfügt über eine Ölfreischmierung. So kann ein sauberes Vakuum erzeugt werden. Wenn die Schraubenvakuumpumpe korrosive Gase ansaugt, sollte ein Korrosionsschutz durchgeführt werden.

Merkmale:

Komplexere Rotorstruktur, höhere Präzisionsanforderungen, schwierigere Rotorverarbeitung und längere Verarbeitungszeit; gleichzeitig geringere Laufleistung, geringere Geräuschentwicklung sowie niedrigere Pumpenbetriebstemperatur durch Vakuumpumpe mit variabler Leitspindel.

inPower Ölfreie Schraubenvakuumpumpe Technische Parameter:

Modell: LGB30/50/70/110/150/180/200/220/270/300/360/400/500

Endvakuum: Weniger als oder gleich 1Pa

GESCHWINDIGKEIT 50 Hz:30-500 L/s

GESCHWINDIGKEIT 60 Hz:36 - 600 L/s

Modell			LGB30	LGB50	LGB70	LGB110	LGB150	LGB180	LGB200	LGB220	LGB270	LGB300	LGB360	LGB400	LGB500
GESCHWINDIGKEIT (50 Hz)		L/s	30	50	83	110	150	180	200	230	270	300	360	360	500
GESCHWINDIGKEIT (50 Hz)		m³/h	110	180	300	400	540	650	720	830	970	1080	1300	1500	1800
Endvakuum (50 Hz)		Papa	5	5	5	5	5	5	5	5	5	5	5	5	5
Maximaler Abgasdruck		Bar	1.2	1.2	1.2	1.2	1.2	1.2	1.5	1.2	1.2	1.2	1.2	1.2	1.2
LEISTUNG (50 Hz)		Kw	4	4	5.5/7.5	11	15	15	18.5	18.5	22	30	37	37	37
Motordrehzahl (50 Hz)		U/min	2880	2880	2880	2880	2880	2880	2880	2880	2880	2880	2880	2880	2880
Verbinden	IN	mm	50	50	65	65	100	100	150	150	150	150	150	150	150
Verbinden	AUS	Mm	40	40	65	65	80	80	100	100	100	100	100	100	100
Wasser	Fließen	L/min	6	6	10	15	20	20	25	25	28	28	28	28	28
	Druck	Mpa	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35
	Verbinden		G3/8"	G1/2"	G1/2"	G1/2"	G1/2"	G1/2"	G1/2"	G1/2"	G1/2"	G1/2"	G1/2"	G1/2"	G1/2"
Kühlungsmethode		Luft Wasser	Luft Wasser	Wasser	Wasser	Wasser	Wasser	Wasser	Wasser	Wasser	Wasser	Wasser	Wasser	Wasser	Wasser
Lärm		dB	75	75	75	76	76	78	78	78	80	80	85	85	85
Gewicht		Kg	310	310	475	570	840	840	1200	1220	1250	1300	1350	1380	1400
Besondere Anforderungen		Je nach Bedarf kann es mit variabler Frequenz, Korrosionsschutz, Explosionsschutz usw. konfiguriert werden

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Es eignet sich optimal für die meisten Anwendungen und verfügt über spezielle Varianten, die auf die Chemie- und Industriemärkte zugeschnitten sind, mit besonderem Schwerpunkt auf den Märkten für Feinchemie und Pharmazie.

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Produktionssituation:

inPower LGB Ölfreie Schrauben-Vakuumpumpe Anwendungsbereich:

Mess- und Prüfgeräte:

Vakuumsysteme in Mess- und Prüfwerkzeugen für die Halbleiterherstellung erfordern zuverlässige Pumpen, um Kammern zu evakuieren und genaue Messungen sicherzustellen. Trockene Schraubenpumpen bieten die erforderliche Vakuumleistung für diese Anwendungen.

Ionenimplantation:

Trockene Schraubenpumpen sind unverzichtbar für die Erzeugung und Aufrechterhaltung des hohen Vakuumniveaus, das in Ionenimplantationsanlagen benötigt wird. Diese dienen dazu, Dotieratome in Halbleitermaterialien einzubringen, um deren elektrische Eigenschaften zu verändern.

Fotolithografie:

Beim Photolithografieprozess unterstützen trockene Schraubenpumpen die Evakuierung der Belichtungskammer und gewährleisten so die präzise Übertragung von Mustern auf Halbleiterscheiben während des Halbleiterherstellungsprozesses.

Forschung und Entwicklung:

Trockene Schraubenpumpen werden auch in Forschungs- und Entwicklungslaboren der Halbleiterindustrie zum Testen neuer Prozesse, Materialien und Geräte unter kontrollierten Vakuumbedingungen eingesetzt.

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