Das InPower Ölvakuumsystem erzeugt ein Vakuum, indem es in mehreren Schritten Gasmoleküle aus der Kammer entfernt. Öl wird zum Schmieren und Abdichten der Pumpenkomponenten sowie zum Auffangen und Entfernen der gepumpten Gase verwendet.
Zu den Merkmalen gehören:
Hohe Vakuumniveaus:
Öl-Vakuumpumpensysteme können hohe Vakuumniveaus erreichen und sind daher für Prozesse geeignet, die eine Niederdruckumgebung erfordern.
Zuverlässigkeit:
Diese Systeme sind für ihre Zuverlässigkeit und gleichbleibende Leistung über längere Betriebszeiten bekannt. Bei ordnungsgemäßer Wartung können sie eine kontinuierliche Vakuumförderung gewährleisten.
Vielseitigkeit:
Öl-Vakuumpumpensysteme können in zahlreichen Anwendungen in unterschiedlichen Branchen eingesetzt werden, unter anderem in der Vakuumdestillation, Gefriertrocknung und Halbleiterherstellung.
Effizienz:
Diese Systeme sind dafür ausgelegt, Gase effizient aus einer abgedichteten Kammer zu entfernen und so schnell und effektiv das gewünschte Vakuum zu erzeugen.
Haltbarkeit:
Öl-Vakuumpumpensysteme sind typischerweise so konstruiert, dass sie den Belastungen industrieller Umgebungen standhalten und bei entsprechender Pflege und Wartung einen langfristigen Dienst leisten.
Anwendungsbereich des inPower Öl-Vakuum-Systems:
Halbleiterfertigung:
Ölvakuumpumpen sind für Halbleiterherstellungsprozesse wie Waferätzen, Abscheidung und Ionenimplantation von entscheidender Bedeutung. Sie tragen zur Schaffung einer sauberen Niederdruckumgebung bei, die für die präzise und kontrollierte Herstellung von Mikrochips erforderlich ist.
Vakuumbeschichtung:
Ölvakuumpumpen werden in Vakuumbeschichtungsprozessen wie der physikalischen Gasphasenabscheidung (PVD) und der chemischen Gasphasenabscheidung (CVD) eingesetzt. Diese Prozesse werden zur Dünnschichtabscheidung auf Oberflächen eingesetzt und bieten verbesserte Eigenschaften wie Schutz, Leitfähigkeit oder optische Eigenschaften.
Gefriertrocknen:
Gefriertrocknung, auch Lyophilisierung genannt, ist ein Verfahren, mit dem Feuchtigkeit aus hitzeempfindlichen Materialien entfernt wird, während ihre Struktur erhalten bleibt. Ölvakuumpumpensysteme helfen bei der Schaffung einer Niederdruckumgebung, die eine effiziente Sublimation von gefrorenem Wasser und die Feuchtigkeitsentnahme aus Produkten wie Arzneimitteln, Lebensmitteln und biologischen Proben ermöglicht.
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