Kalibrierung des Vakuummetersspielt eine entscheidende Rolle im Bereich der Vakuummessung und ist ein wichtiges unterstützendes Werkzeug für die gesamte Forschung und Entwicklung der Vakuummessung. Durch die Kalibrierung können nicht nur vorhandene relative Vakuummessgeräte unter zuverlässigen Standards vereinheitlicht werden, sondern es können auch eingehende Untersuchungen zur Leistung von Vakuummessgeräten in der Entwicklungsphase durchgeführt werden.
Die sogenannte „Vakuummeterkalibrierung“ bezieht sich im Wesentlichen auf den „Kalibrierungs“-Vorgang des relativen Vakuummeters. Es ist zu beachten, dass die Kalibrierung eines Vakuummeters unter bestimmten Bedingungen für eine bestimmte Gasart durchgeführt wird, aus denen Kalibrierkoeffizienten oder Kalibrierkurven gewonnen werden.
Sobald sich die Gasart oder die Arbeitsbedingungen ändern, ist die ursprüngliche Kalibrierkurve nicht mehr anwendbar und muss neu kalibriert werden. Selbst bei demselben Messgerät ändert sich bei einem Austausch des Messgeräts auch dessen Kalibrierkurve entsprechend. Es ist ersichtlich, dass die Kalibrierung des Relativvakuummeters nicht nur notwendig ist, sondern auch regelmäßig durchgeführt werden muss, da es sonst zu Messfehlern kommen kann, die über den zulässigen Bereich hinausgehen.
Die Kalibrierung zielt auf das gesamte Vakuummessgerät ab und umfasst sowohl das Vakuummessgerät als primäres Instrument als auch die elektronische Schaltung als sekundäres Instrument. Normalerweise werden beide zusammen kalibriert, idealer ist es jedoch, das Vakuummessgerät und die elektronische Schaltung getrennt zu kalibrieren.
Die Kalibrierung eines Vakuummessgeräts erfordert ein Standard-Vakuummessgerät und ein Kalibriersystem und wird durch spezifische Methoden erreicht.
Zu den Vakuumstandards gehören absolute Vakuummessgeräte, Standard-Relativvakuummessgeräte (oder sekundäre Standard-Vakuummessgeräte) und absolute Kalibriersysteme.
Als Vakuumnormale können alle Absolutvakuummessgeräte dienen. Das Vakuummessgerät-Kalibrierungssystem, das ein absolutes Vakuummessgerät als Referenz verwendet und den regenerierten Niederdruck nach dem Druckabfall als Standard genau berechnet, wird als absolutes Kalibriersystem bezeichnet.
Beispielsweise wendet das Kalibrierungssystem der Expansionsmethode das Prinzip des statischen thermischen Gleichgewichts an, das auf dem Boyle-Gesetz idealer Gase basiert. Dieses System erweitert die untere Kalibrierungsgrenze des U-Rohr-Druckmessgeräts auf Hochvakuum (10 ⁻⁴ Pa). Vakuummessgeräte mit hoher Stabilität und Genauigkeit können nach der Kalibrierung als Sekundärnormale für die Kalibrierung funktionierender Vakuummessgeräte verwendet werden. Solche Vakuummeter werden sekundäre Standard-Vakuummeter genannt. Im Bereich der Messtechnik sind Standards ein nach Genauigkeitsstufen geordnetes System.
Am 1. Mai 1990 genehmigte die staatliche Verwaltung für technische Aufsicht die wichtige Norm „Vacuum Measurement Instrument Calibration System“ (JJG2022-89) und begann mit deren Umsetzung.
Mit der rasanten Entwicklung moderner Technik wurden auch im Bereich der Vakuumtechnik erhebliche Fortschritte erzielt. Gegenwärtig hat sich der Bereich der Vakuumerfassung und -messung stark erweitert und reicht vom ursprünglichen Atmosphärendruck (10 ⁵ Pa) bis hin zu einem sehr weiten Bereich extrem hohen Vakuums (<10 ⁻¹⁰ Pa).
In der tatsächlichen industriellen Produktion und bei wissenschaftlichen Forschungsaktivitäten konzentriert sich der von Menschen ausgeübte Druckbereich aufgrund umfassender Praxis und statistischer Entdeckungen jedoch hauptsächlich auf 10 ⁻⁸ und 10 ⁵ Pa. In diesem spezifischen Druckbereich, um die Genauigkeit und Konsistenz sicherzustellen der Vakuummesswerte ist das „Vacuum Measurement Instrument Calibration System“ entstanden.
Dieses Verifizierungssystem spielt eine entscheidende Rolle. Es ist ein wichtiges Glied bei der Gewährleistung der Genauigkeit und Zuverlässigkeit von Vakuummesswerten, durch das eine effektive Übertragung von Vakuummesswerten zwischen verschiedenen Verbindungen und Geräten erreicht werden kann.
Insbesondere im Bereich der Vakuummesstechnik ist die Genauigkeit von Vakuum-Zeitmessgeräten auf allen Ebenen für den gesamten Messprozess von entscheidender Bedeutung. Das Kalibrierungssystem ist wie ein präzises Lineal, das einen einheitlichen Messstandard für diese Vakuum-Zeitmessgeräte bietet und eine strenge Kalibrierung verschiedener Vakuum-Zeitmessgeräte ermöglicht.
Und es sollte betont werden, dass das Kalibriersystem hauptsächlich auf den spezifischen Druckbereich von 10 ⁻⁸ bis 10 ⁵ Pa ausgerichtet ist. In diesem Rahmen ist es wichtig, ob es sich um das Vakuumnormalgerät handelt, das von der Messabteilung zur Kalibrierung und Prüfung verwendet wird, das Vakuummessgerät B. im experimentellen Prozess durch die wissenschaftliche Forschungsabteilung oder die am Produktionsprozess beteiligten Vakuummessgeräte durch die Industrieabteilung, müssen alle gemäß diesem Kalibrierungssystem kalibriert werden, um die Genauigkeit und Zuverlässigkeit der Vakuummesswerte insgesamt sicherzustellen industriell Produktion und wissenschaftlicher Forschungsprozess und um verschiedene Probleme zu vermeiden, die durch ungenaue Vakuummessungen verursacht werden, wie z. B. Abweichungen der experimentellen Ergebnisse, instabile Produktionsqualität usw.
