Inpower Dry-Halbleiter-Vakuumpumpen sind Spezialpumpen, die in der Halbleiterindustrie eingesetzt werden, um eine saubere und trockene Vakuumumgebung zu schaffen. Diese Pumpen sind für Prozesse wie chemische Gasphasenabscheidung, physikalische Gasphasenabscheidung, Ionenimplantation und Ätzen unverzichtbar.
Technische Parameter:
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Modell |
GXR110 |
GXR180 |
GXR320 |
GXR400 |
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GESCHWINDIGKEIT (50 Hz) |
m³/h |
110 |
180 |
320 |
400 |
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Endvakuum (50 Hz) |
Pa |
Kleiner oder gleich 1 |
Kleiner oder gleich 1 |
Kleiner oder gleich 1 |
Kleiner oder gleich 1 |
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LEISTUNG (50 Hz) |
Kw |
4.5 |
7.5 |
7.5 |
7.5 |
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Zwangsumlaufkühlung |
GXR ist mit einer Zwangsumlaufkühlung ausgestattet, mit einer maximalen Pumpenkörpertemperatur von<50 ° C and a maximum motor temperature of<35 ° C |
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Spannung und Frequenz |
Anpassung an globale Spannung und Frequenz |
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Einlass-/Auslassschnittstelle |
Anpassbare Flanschschnittstelle/KF-Schnittstelle |
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Wasser |
Druck (MPa) |
0.2-0.4 |
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Durchfluss L/min |
3-5 |
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Tem (Grad) |
10-30 |
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N2 |
Druck (MPa) |
0.05-0.1 |
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Durchfluss L/min |
6-20 |
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Lärm |
dB |
Kleiner oder gleich 68 |
Kleiner oder gleich 68 |
Kleiner oder gleich 70 |
Kleiner oder gleich 70 |
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Gewicht |
Kg |
280 |
360 |
360 |
420 |
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Überwachung und Kontrolle |
Bedienfeld/Vakuum-Digitalanzeige/Temperaturüberwachung/Stromüberwachung/Fehleralarm/andere Netzwerkdienste |
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Modell |
GXR180/800 |
GXR180/1300 |
GXR180/1800 |
GXR450/2600 |
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GESCHWINDIGKEIT (50 Hz) |
m³/h |
800 |
1300 |
1800 |
2600 |
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Endvakuum (50 Hz) |
Pa |
Kleiner oder gleich 0.1 |
Kleiner oder gleich 0.1 |
Kleiner oder gleich 0.1 |
Kleiner oder gleich 0.1 |
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LEISTUNG (50 Hz) |
Kw |
7.5 |
7.5 |
9 |
15 |
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Zwangsumlaufkühlung |
GXR ist mit einer Zwangsumlaufkühlung ausgestattet, mit einer maximalen Pumpenkörpertemperatur von<50 ° C and a maximum motor temperature of<35 ° C |
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Spannung und Frequenz |
Anpassung an globale Spannung und Frequenz |
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Einlass-/Auslassschnittstelle |
Anpassbare Flanschschnittstelle/KF-Schnittstelle |
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Wasser |
Druck (MPa) |
0.2-0.4 |
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Durchfluss L/min |
0.1 |
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Tem (Grad) |
3-5 |
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N2 |
Druck (MPa) |
10-30 |
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Durchfluss L/min |
0.05-0.1 |
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Lärm |
Druck (MPa) |
6-20 |
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Gewicht |
dB |
Kleiner oder gleich 70 |
Kleiner oder gleich 70 |
Kleiner oder gleich 72 |
Kleiner oder gleich 72 |
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Überwachung und Kontrolle |
Kg |
600 |
720 |
800 |
1350 |
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GESCHWINDIGKEIT (50 Hz) |
Bedienfeld/Vakuum-Digitalanzeige/Temperaturüberwachung/Stromüberwachung/Fehleralarm/andere Netzwerkdienste |
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Charakteristisch:
Kontaminationsfreier Betrieb:
Trockene Schraubenpumpen benötigen keine Schmier- oder Dichtungsflüssigkeiten, wodurch das Risiko einer Verunreinigung in der Vakuumkammer eliminiert wird. Dies ist entscheidend für die Aufrechterhaltung der Reinheit der Halbleiterfertigungsumgebung.
Hohe Pumpgeschwindigkeit:
Trockene Schraubenpumpen können hohe Pumpgeschwindigkeiten erreichen und eignen sich daher gut für Anwendungen, bei denen eine schnelle Evakuierung von Gasen erforderlich ist, wie beispielsweise bei der Halbleiterverarbeitung.
Geringer Wartungsaufwand:
Im Vergleich zu ölgedichteten Pumpen haben trockene Schraubenpumpen einen geringeren Wartungsbedarf, da sie für den Betrieb kein Öl benötigen. Dies führt zu geringeren Ausfallzeiten und Kosteneinsparungen über die Lebensdauer der Pumpe.
Energieeffizienz:
Trockene Schraubenpumpen sind auf Energieeffizienz ausgelegt und helfen Halbleiterherstellern, ihren Gesamtenergieverbrauch und ihre Betriebskosten zu senken.
Großer Betriebsbereich:
Diese Pumpen können in einem weiten Druckbereich betrieben werden und bieten Flexibilität bei verschiedenen Halbleiterherstellungsprozessen, die unterschiedliche Vakuumniveaus erfordern.
Kompaktes Design:
Trockene Schraubenpumpen verfügen typischerweise über eine kompakte Bauweise, die eine einfache Integration in Halbleitergeräte ermöglicht und in Reinraumumgebungen wertvollen Platz spart.
Zuverlässigkeit:
Trockene Schraubenpumpen sind für ihre Zuverlässigkeit und lange Lebensdauer bekannt. Sie bieten über einen langen Zeitraum eine gleichbleibende Leistung und tragen zur Gesamteffizienz der Halbleiterfertigungsabläufe bei.
Inpower Dry Halbleiter-Vakuumpumpen Anwendungsbereich:
Halbleiterfertigung:
Trockene Schraubenpumpen spielen eine entscheidende Rolle in verschiedenen Halbleiterherstellungsprozessen, darunter chemische Gasphasenabscheidung (CVD), physikalische Gasphasenabscheidung (PVD), Ionenimplantation, Ätzen und Sputtern. Sie helfen dabei, die für diese Prozesse erforderlichen Vakuumniveaus zu erzeugen und aufrechtzuerhalten.
Dünnschichtabscheidung:
Bei Dünnschichtabscheidungsverfahren wie Sputtern und Aufdampfen werden trockene Schraubenpumpen eingesetzt, um die Prozesskammer zu evakuieren und die erforderlichen Vakuumbedingungen zum Abscheiden dünner Schichten auf Substraten aufrechtzuerhalten.
Waferverarbeitung:
Trockene Schraubenpumpen werden bei Waferverarbeitungsschritten wie Reinigen, Strukturieren und Dotieren eingesetzt, bei denen die Aufrechterhaltung einer sauberen und trockenen Vakuumumgebung entscheidend für das Erreichen präziser und zuverlässiger Ergebnisse ist.
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